1、生产量：喷淋式蚀刻效率高、速度快、精度高，适合于有一定批量的生产，生产易于实现自动化控制，但是设备投入大，同时也不适宜对异形工件及大型工件的蚀刻；侵泡式蚀刻设备投入小，蚀刻方便，使用工件范围广。
2、工件形状及大小：对于大型工件由于受设备限制，采用喷淋式蚀刻难于进行，而侵泡式就不会受工件大小的影响。工件形状复杂，在喷淋时有些部位会出现喷淋不到位的情况而影响蚀刻的正常进行，而侵泡式由于是将工件整个侵泡在蚀刻液中，只要保持溶液和工件之间的动态，就能保证异性工件的各个部位都能充满蚀刻液并进行新液与旧液的连续更换，使蚀刻能正常进行。
对于不大的平面或近乎平面的工件如果条件允许，采用喷淋式蚀刻不管是效率或是精度都优于侵泡式蚀刻。所以，对于批量大、工件大小适中、形状简单的平面形状的工件以采用喷淋式为首选；如果工件外形较大，难以采用蚀刻机，工件形状复杂，批量不大，这式以采用侵泡式为宜。
